Tehnologia TFT a fost dezvoltată în anii 1990. Acesta adoptă noi materiale și noi procese pentru tehnologia de fabricație a circuitelor integrate de semiconductori la scară largă. Este utilizat pentru afișaje cu ecran plat cu cristale lichide (LC), anorganice și organice cu peliculă subțire (EL și OEL). temei. TFT este o plachetă non-unică, ar fi un substrat de sticlă sau plastic (desigur, poate fi și pe o plachetă) prin procese de pulverizare și depunere chimică pentru a forma diverse filme necesare pentru circuitele de fabricație, iar circuitele integrate semiconductoare la scară largă (LSIC) sunt fabricate prin prelucrarea filmelor. . Utilizarea substraturilor cu cristale neimuritoare poate reduce foarte mult costurile și este o extensie a circuitelor tradiționale integrate la scară largă la direcțiile cu suprafață mare, multifuncționale și cu costuri reduse. Este mai dificil din punct de vedere tehnic să se fabrice TFT care controlează performanța de comutare a pixelilor (LC sau OLED) pe substraturi de sticlă sau plastic cu suprafață mare decât fabricarea de CIRCUITE la scară largă pe plachete de siliciu. Cerințele pentru mediul de producție (gradul de purificare este de 100), cerințele pentru puritatea materiilor prime (puritatea gazului special electronic este de 99,999985%), iar cerințele pentru echipamentele de producție și tehnologia de producție depășesc integrarea pe scară largă a semiconductorilor. Este vârful producției moderne la scară largă. Tehnologie. Principalele sale caracteristici sunt:
(1) Suprafață mare: Prima generație de substrat de sticlă cu suprafață mare (300mm×400mm) TFT-LCD linie de producție a fost pusă în producție la începutul anilor 1990. Până în prima jumătate a anului 2000, suprafața substratului de sticlă a fost extinsă la 680mm×880mm), iar dimensiunea substratului de sticlă a fost de 950mm×1200mm. Substratul de sticlă va fi, de asemenea, pus în funcțiune. În principiu, nu există nicio limitare a suprafeței.
(2) Integrare ridicată: Cipul TFT de 1,3 inchi utilizat pentru proiecția cristalelor lichide are o rezoluție de XGA care conține milioane de pixeli. Grosimea filmului din gama TFT de 16,1 inchi de siliciu amorf cu o rezoluție de SXGA (1280×1024) este de numai 50nm, iar tehnologiile TAB ON GLASS și SYSTEM ON GLASS, integrarea IC-ului său, cerințele pentru echipamente și tehnologia de aprovizionare și dificultatea tehnică Toate depășesc LSI tradițional.
(3) Funcții puternice: TFT a fost folosit pentru prima dată ca circuit de localizare matriceală pentru a îmbunătăți caracteristicile supapei de lumină a cristalelor lichide. Pentru afișajele de înaltă rezoluție, prin reglarea tensiunii în intervalul 0-6V (de obicei 0,2 până la 4V), se realizează un control precis al obiectului, făcând posibilă realizarea de către LCD a afișajelor de înaltă calitate și de înaltă rezoluție. TFT-LCD este primul ecran plat din istoria omenirii care depășește CRT în calitatea afișajului. Și oamenii încep să integreze driverul IC pe substratul de sticlă, iar funcția întregului TFT va fi mai puternică, care este de neegalat de circuitele tradiționale integrate semiconductoare la scară largă.
(4) Costuri reduse: Substratul de sticlă și substratul din plastic rezolvă în mod fundamental problema costurilor circuitelor integrate semiconductoare la scară largă și deschid un spațiu larg de aplicare pentru aplicarea circuitelor integrate semiconductoare la scară largă.
